原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种垂直腔面发射激光器。该垂直腔面发射激光器包括：衬底；在衬底上依次生长的N接触层、N‑DBR层、MQW层、氧化层、P‑DBR层、P接触层；以及N电极、P电极和SiN钝化层；N电极设在N接触层上，P电极设在P接触层上，SiN钝化层覆盖垂直腔面发射激光器的至少部分表面上；其中，衬底上具有多个通孔，衬底的背面具有覆盖通孔的金属层，金属层的下表面形成有金属凸点；通孔内设有金属柱，金属凸点通过金属柱连接至N电极和P电极。该垂直腔面发射激光器采用衬底背面同侧电极设计，可直接在硅基材料表面进行焊
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113690730 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202110784150.6 (51)Int.Cl.
文档评论（0）