一种钙钛矿晶硅叠层太阳能电池制作方法及电池结构.pdfVIP

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2023-06-29 发布于四川
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一种钙钛矿晶硅叠层太阳能电池制作方法及电池结构.pdf

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本发明公开了一种钙钛矿晶硅叠层太阳能电池制作方法，包括如下步骤：S100、对P型硅片的底部表面进行制绒，顶部表面进行制绒或者抛光，形成硅片基底；S200、采用包括但不限于热生长法，原子沉积法或等离子体增强化学气相沉积法在所述硅片基底底部表面制成底部钝化层，并通过包括但不限于激光刻蚀开孔的方法对底部钝化层进行开孔，形成底电极开孔钝化层。还包括方法制作的电池结构。本发明直接采用双面钝化的且可以独立作为太阳能电池使用的电池结构，同时具有有效的重掺杂复合层，以形成整体的电池结构，并依据这种结构提供结构的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113690340 A (43)申请公布日 2021.11.23 (21)申请号 202110835841.4 (22)申请日 2021.07.23 (71)申请人深圳