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2023-07-01 发布于四川
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一种微焦点射线源用分辨率测试卡及其制备方法.pdf

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本发明提供一种微焦点射线源用分辨率测试卡及其制备方法，包括以下步骤：对基体进行预处理，使表面洁净；在洁净的基体上生长一层重金属层；在重金属层上甩涂一层光刻胶，并烘烤固形；设计分辨率测试卡图案，并转换成激光直写设备可识别的代码；将基体放置于曝光平台，使除所需图案以外区域的光刻胶曝光；将曝光后的基体置于显影液中浸泡，待分辨率测试卡图像显现后，清洗并烘干；去除掉没有光刻胶保护区域的薄膜，结束后将基体清洗洁净；在刻蚀后的基体表面生长一层保护层，制备完成分辨率测试卡芯片；将分辨率测试卡芯片固定在中心开孔的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113701999 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202110900947.8 (22)申请日 2021.08.06 (71)申请人无锡日联科技股份有限公司

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