MEMS技术系列实验内容设计与实现.pdfVIP

摘要 本文基于 MEMS 技术与应用课程的教学内容，设计了十个与课程核心知识 点相关的验证性、设计性实验。按照实验教学规范对设计性实验教学所需的实验 设备、实验过程以及实验数据分析进行了设计与验证。重点设计了涵盖整个课程 知识点的四个综合性实验，验证结果表明所设计实验的实验过程和实验方法符合 培养目标要求，具有灵活的可操作性，使学生通过实验过程能够充分掌握所学知 识，并将其运用到解决实际问题的过程中。 关键词：MEMS 技术；实验规；传感器 Abstract This paper based on the teaching content of MEMS technology and application course, and designed ten experiments about verification and design which related to the core knowledge points of the course. According to the experimental teaching norms, the experimental equipment, process and data analysis of the design experiments were designed and tested. Four comprehensive experiments were mainly designed which covering the whole course knowledge. The results show the experimental process of the designed experiments and the experimental method are meet the requirements of teaching and also are operability. By conducting the experiments, students will apply the knowledge what they have learned to solve the practical problem to meet the experimental requirements. Keywords: MEMS technology; experimental teaching norms; sensors 目录 前言 1 1.MEMS 介绍 2 1.1 MEMS 概述 2 1.2 MEMS 技术 3 1.2.1 体微加工 3 1.2.2 表面微加工 3 1.2.3 LIGA 技术 4 2.实验设计4 2.1 实验设计概述4 2.2 实验基本要求5 2.3 实验内容概述与实践训练目标 5 2.3.1MEMS 材料薄膜沉积技术6 2.3.2 晶体硅掺杂技术7 2.3.3 半导体工艺测量技术 8 2.3.4 MEMS 材料刻蚀技术 9 2.3.5 MEMS 传感器应用 10 3. 实验大纲 13 结束语 18 参考文献19 前言 随着物联网技术及其所需智能终端产业的蓬勃发展，越来越多的电子设备为 了应对特殊的使用环境，对功耗、体积等提出了苛刻的要求，作为物联网技术的 硬件基础，传感器的发展对电子设备功耗与体积的影响尤为重要，采用传统制造 技术的传感器由于加工工艺的限制已经难以满足要求，因而将目光转向全新的微 机电系统（MEMS）制造技术，MEMS 传感器因运而生。由于其采用了 MEMS 技术，使得传感器拥有独到的性能和应用前景