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本发明提供一种顶棚搬送车(10)，顶棚搬送车(10)将晶圆传送盒等沿着行驶导轨(92)进行搬送，并移载于晶圆装载台(94)。升降部(15)能够使教学单元(20)进行升降。教学单元(20)具备单元主体(21)、教学板(31)以及第1测距仪(40)等。教学单元(20)能够基于教学板(31)的位置来学习晶圆传送盒等相对于晶圆装载台(94)而言的移载位置。单元主体(21)能够支撑教学板(31)，通过教学板(31)被移载于晶圆装载台(94)来解除对教学板(31)的支撑。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113725132 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202110550163.7 G09B 19/00 (2006.01)
(22)申请日 2
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