控制设备、光刻装置、测量装置、处理装置、平坦化装置以及物品制造方法.pdfVIP

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  • 2023-07-02 发布于四川
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控制设备、光刻装置、测量装置、处理装置、平坦化装置以及物品制造方法.pdf

一种反馈控制设备,其将与受控对象的测量值与期望值之间的控制偏差相关的信息作为输入并输出用于受控对象的操纵变量。该反馈控制设备具有:第一控制单元,其接受关于控制偏差的信息作为输入,并输出用于该受控对象的操纵变量;第二控制单元,其以关于控制偏差的信息接受为输入,并包括学习控制单元,对于该学习控制单元,由机器学习确定用于输出用于受控对象的操纵变量的参数;以及加法器,其用于将从第一控制单元输出的第一操纵变量和从第二控制单元输出的第二操纵变量相加;来自加法器的操纵变量被输出到受控对象,第二控制单元具有用于

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111183397 A (43)申请公布日 2020.05.19 (21)申请号 20188

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