一种基于高温离子辐照制备梯度结构非晶薄膜的方法.pdfVIP

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2023-07-02 发布于四川
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一种基于高温离子辐照制备梯度结构非晶薄膜的方法.pdf

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本发明公开了一种基于高温离子辐照制备梯度结构非晶薄膜的方法，在采用磁控溅射镀制的高质量非晶薄膜的基础上，辅以高温离子辐照处理，使样品表面发生晶化而内部保持非晶结构，从而制备出具有梯度结构的高强度、高塑性的非晶薄膜。本发明制备的梯度非晶薄膜结构很容易通过控制离子辐照实验的温度和注入剂量来实现，从而为制备可控的高力学性能的非晶薄膜材料提供可能。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113718200 B (45)授权公告日 2022.06.07 (21)申请号 202110984609.7 C22F 3/00 (2006.01)