原创力文档- 11
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- 2023-07-02 发布于四川
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本发明公开了一种用于晶圆测试的测试系统异常中断恢复方法及装置，涉及芯片制造领域。该方法包括：当测试系统异常中断后，从测试机中读取已存储的晶圆信息，从晶圆信息中提取已测试的晶圆测试结果；根据晶圆测试结果对空白测试结果图进行修改，得到部分测试结果图；通过探针台调取部分测试结果图，根据部分测试结果图对晶圆未测试的部分进行测试，得到完整测试结果图。本发明适用于晶圆测试系统异常中断后的测试恢复，能够使探针台根据部分晶圆map图继续进行晶圆剩余部分的测试，不需要对已经测试过的区域再次进行测试，从而减少了不能
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113721130 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202111014452.1
(22)申请日 2021.08.31
(66)本国优先权数据
2021107
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