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- 2023-07-02 发布于四川
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本发明公开了一种基于微悬臂器件的激光功率测量装置与方法，包括高能激光发射单元，所述测量模块包括微悬臂器件和玻璃板，在所述高能激光发射单元的入射光路上设置微悬臂器件，光纤干涉仪通过探测光纤与测量模块连接用以测量微悬臂器件中心盘位移量，所述微悬臂器件和所述玻璃板之间设置有腔体用以产生压膜阻尼,用以提高信噪比和阻尼振动时间参数。本发明结构简单，利用压膜阻尼便可抑制阻尼振动和噪声，无需考虑双弹簧芯片质量平衡的问题；相比于电容式压力传感器：避免了电容边缘场效应带来的测量误差，具有更高的信噪比。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116358700 A
(43)申请公布日 2023.06.30
(21)申请号 202310649178.8
(22)申请日 2023.06.02
(71)申请人 中国计量科学研究院
地址 100
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