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本发明提供了一种微流阀,包括阀体、固定于阀体内壁的柔性悬臂梁、设置于阀体上端面的挡光板和透光板、紫外灯和液滴。通过将液滴滴到柔性悬臂梁上并控制紫外灯的照射,可以使柔性悬臂梁的局部表面产生润湿梯度,并且在液滴的张力作用下,柔性悬臂梁发生一定程度的形变和位移,以此来控制阀体中微流体的流动。采用上述结构的微流阀可以使柔性悬臂梁产生可逆的形变和位移,从而可以重复地打开和闭合微流阀,降低微流阀的使用成本。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113775818 B
(45)授权公告日 2022.06.03
(21)申请号 202010526786.6 JP 2005242894 A,2005.09.08
(22)申请日
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