一种Mini LED晶圆外观缺陷检测系统及方法.pdfVIP

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2023-07-04 发布于四川
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一种Mini LED晶圆外观缺陷检测系统及方法.pdf

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本发明公开了一种MiniLED晶圆外观缺陷检测系统及方法，本发明涉及缺陷检测技术领域，解决了现有技术中晶圆的光学检测精度与效率无法兼顾而导致无法全检的技术问题，通过缺陷分析单元对晶圆的缺陷数据进行分析，从而对缺陷进行检测，获取到晶圆存在的缺陷数据，通过公式获取到晶圆的缺陷分析系数Xi，若晶圆的缺陷分析系数Xi≥缺陷分析系数阈值，则判定对应晶圆存在缺陷，生成晶圆缺陷信号并将晶圆缺陷信号发送至云检测平台，云检测平台接收到晶圆缺陷信号后，将晶圆标记为缺陷晶圆，随后生成匹配信号并将匹配信号和缺陷晶圆发送

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113791084 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202110958221.X (22)申请日 2021.08.20 (71)申请人安徽初代物联科技有限责任公司