电子装置制造设备、系统和方法中的装载端口操作.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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电子装置制造设备、系统和方法中的装载端口操作.pdf

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一种电子装置制造系统可包括具有受控环境的工厂接口。电子装置制造系统也可包括耦接到工厂接口的装载端口。装载端口可被配置为在其上接收基板载体，且可包括净化设备和控制器。控制器可被配置为操作装载端口，使得定位在基板载体门与装载端口周围和之间的任何空气至少部分地或完全地被净化掉，因此减少或防止在由装载端口开启基板载体门之后污染受控的环境。也提供了操作工厂接口装载端口的方法以及其他的方面。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110383452 A (43)申请公布日 2019.10.25 (21)申请号 20188