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图像传感器中使用混合接合的金属布线.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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图像传感器中使用混合接合的金属布线.pdf

    本申请案涉及图像传感器中使用混合接合的金属布线。一种为晶片上晶片结构中的电连接布线的方法包括：将第一晶片的金属接合垫接合到第二晶片的金属接合垫；使用与所述金属接合垫不同的材料将所述第一晶片接合到所述第二晶片；形成将所述第一晶片的所述金属接合垫连接到安置在所述第一晶片的第一侧及第二侧内的第一装置的金属互连结构；及形成将所述第二晶片的所述金属接合垫连接到安置在所述第二晶片内的第二及第三装置，以通过所述金属接合垫将所述第一装置连接到所述第二及第三装置的金属互连结构，其中所述第一与第二晶片的所述装置之间

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113809043 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110641793.5 (22)申请日 2021.06.09 (30)优先权数据

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