干式粗真空泵.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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本发明涉及一种干式粗真空泵(1),它包括:‑定子(2),其包括至少一个端部件(14、15)和至少两个定子元件(10、11、12);和‑两个转子(6)的轴(7),其构造成在泵送级(3a‑3f)中沿着相反的方向同步旋转。各个定子元件(10、11、12)与另一定子元件(10、11、12)或与端部件(14、15)轴向地组装,以构成串联地安装在真空泵(1)的吸入口(4)和排出口(5)之间的至少两个泵送级(3a‑3f)。通过组装沿着组装表面(8)相交的两个互补半壳(100a、100b、110a、110b、1

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113811668 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202080035031.4 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所

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