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用于同时获取物体的多个不同图像的检测设备.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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用于同时获取物体的多个不同图像的检测设备.pdf

    公开了一种检测设备，用于在多个不同聚焦水平同时获取物体的多个图像；包括：调制器，用于获得入射束的多个束副本；以及检测器，能够操作以捕获多个束副本，使得多个束副本中的至少两个在不同的聚焦水平捕获。还公开了一种包括这种检测系统的检查设备。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113811821 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202080035028.2 (72)发明人 T ·W ·图克尔　A ·J ·登鲍埃夫　

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