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- 2023-07-05 发布于四川
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本发明公开了一种氮化物势垒应力调制器件及其制备方法，该方法包括：在衬底层上依次生长成核层、缓冲层、复合沟道层、氮化物势垒层和第一钝化层；刻蚀第一钝化层、氮化物势垒层和复合沟道层形成器件之间的隔离；在氮化物势垒层形成的源电极区域和漏电极区域上形成源电极和漏电极；在第一钝化层上生长第二钝化层；刻蚀第二钝化层、第一钝化层形成栅槽；在栅槽内和部分第二钝化层上形成T型栅电极；刻蚀第二钝化层、第一钝化层形成凹槽；在凹槽内、源电极、漏电极和T型栅电极上生长第三钝化层；刻蚀源电极、漏电极和T型栅电极上的第三钝化
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113809154 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110984118.2
(22)申请日 2021.08.25
(71)申请人 西安
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