一种flash存储器的制备方法及flash存储器.pdfVIP

下载本文档

1
0
约6.35千字
约 8页
2023-07-05 发布于四川
举报
版权申诉

一种flash存储器的制备方法及flash存储器.pdf

1、本文档共8页，其中可免费阅读7页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了提供一种flash存储器的制备方法，包含：提供基底，在基底上形成隧穿氧化层；在隧穿氧化层上依次沉积层间绝缘膜和金属间绝缘膜；去除层间绝缘膜和金属间绝缘膜内的水汽；以及沉积紫外线氮化硅薄膜以覆盖层间绝缘膜和金属间绝缘膜。该方法在紫外线氮化硅薄膜沉积步骤之前添加融合过程，改善了flash存储器的循环性能。本发明同时提供一种使用该方法制备的flash存储器。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113809085 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 20201