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一种硼扩散方法及太阳能电池.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种硼扩散方法及太阳能电池.pdf

    本发明公开一种硼扩散方法及太阳能电池，涉及光伏技术领域，以制作复合电流密度小且接触电阻率小的硼掺杂层。该硼扩散方法包括如下步骤：提供一硅基底；对硅基底进行整面的第一热扩散工艺，在硅基底上形成第一硼扩散层和硼硅玻璃层；去除硼硅玻璃层；对硅基底进行整面的第二热扩散工艺，使第一硼扩散层的表层掺杂浓度增大转变成第二硼扩散层，第一硼扩散层的其余部分为第三硼扩散层；获得包括第二硼扩散层和第三硼扩散层的硼掺杂层。本发明提供的一种硼扩散方法及太阳能电池用于太阳能电池制造。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113809201 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110961931.8 (22)申请日 2021.08.20 (71)申请人 泰州隆基乐叶光伏科技有限公司

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