N型鳍式场效应晶体管及其形成方法.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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N型鳍式场效应晶体管及其形成方法.pdf

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本发明提供了一种具有多个鳍部的N型鳍式场效应晶体管的形成方法，该形成方法包括以下步骤：在多个鳍部上形成外延层，外延层在彼此相邻的鳍部间具有间隙；在外延层上形成鳍部接触刻蚀停止层，该鳍部接触刻蚀停止层能够填充空隙。该形成方法通过在已有外延层上继续外延过生长，填充鳍部间的间隙，将原本彼此分立的外延层连接起来。在后续的接触刻蚀步骤中，间隙处的膜层作为鳍部接触刻蚀停止层，防止间隙处被刻穿，从而避免了淀积金属后漏电点的产生，提高了产品良率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110416297 A (43)申请公布日 2019.11.05 (21)申请号 20181