感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置.pdf

提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113820920 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202111074739.3 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事

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