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一种PERC晶硅太阳能电池及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种PERC晶硅太阳能电池及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种PERC晶硅太阳能电池及其制备方法，涉及PERC晶硅太阳能电池技术领域，制备方法，包括以下步骤；S1：在硅基体正面形成第一氧化硅膜层；S2：在硅基体正面第一氧化硅膜层表面形成SiC：H膜层；其中，形成SiC：H膜层为通入反应气体SiH4、CH4进行沉积，通入时间为10～30秒，反应气体SiH4和CH4的通入流量比为1：(2～10)，本发明在硅基体正面和背面分别采用SiC：H膜层加氮化硅或氮氧化硅膜层替代传统氮化硅组合膜层以及氧化铝叠加氮化硅膜层，通过在形成SiC：H膜层时调节通入

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113809184 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110919743.9 (22)申请日 2021.08.11 (71)申请人 东方日升（安徽）新能源有限公司

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