一种激光掺杂设备.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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本申请提供了一种激光掺杂设备,该激光掺杂设备包括:激光器,远心场镜,可移动工作台以及定位机构,其中,所述激光器发射单路激光,所述单路激光经过所述远心场镜,垂直投射到待加工电池片上;所述远心场镜,用于将所述单路激光聚焦后得到加工激光;所述加工激光,用于垂直投射到所述待加工电池片的加工面以进行激光掺杂加工;可移动工作台,用于固定所述待加工电池片,并运送所述待加工电池片到指定加工位置;定位机构,用于定位所述待加工电池片。在上述技术方案中,通过设置远心场镜,取代了普通场镜,减少了因为场镜场曲因素导致的激

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219303607 U (45)授权公告日 2023.07.04 (21)申请号 202320709996.8 (22)申请日 2023.04.03 (73)专利权人 天合光能股份有

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