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一种体声波谐振器和体声波滤波器.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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一种体声波谐振器和体声波滤波器.pdf

    本申请提供一种体声波谐振器和体声波滤波器，涉及滤波器技术领域，包括：基底以及设置于基底上的压电堆叠结构，压电堆叠结构包括依次层叠设置的底电极、压电材料层和顶电极，顶电极在基底上的正投影的轮廓包括至少一条阶数大于或等于2的贝塞尔曲线。如此，能够增加横向声波横向传播路径的长度，以此使得横向声波在传播过程中的损耗增大，从而减小横向声波对体声波谐振器带来的横向寄生模态的影响，即提高体声波谐振器对横向寄生模态的抑制效果，进而提高体声波滤波器的性能。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113810016 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111116758.8 (22)申请日 2021.09.23 (71)申请人 武汉

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