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本公开提供一种自由空间光与光子芯片光栅耦合方法,包括:将至少一个光栅耦合器设置于超透镜的焦距处;通过所述超透镜将自由空间光经汇聚到所述光栅耦合器的收光口;以及通过所述光栅耦合器将与其收光角度、方向和偏振匹配的光耦合进波导。上述方法能够有效解决现有技术中自由空间光与波导的耦合受能量分散、角度失配、模场失配、光栅耦合器模斑尺寸小等影响,被芯片的耦合器件采集到的自由空间光功率非常低等技术问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113835155 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111090253.9
(22)申请日 2021.09.16
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
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