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本发明公开了一种氟硅酸钠制备无水氟化氢联产四氟化硅的方法。所述方法包括预热、流态化转化、除尘、冷凝、精制、增压等工序，具体为：将氟硅酸钠送入预热工序，与流态化转化产生的热烟气进行热交换，将预热后的氟硅酸钠送入流态化转化工序，与预热后的氯化氢气体反应，分别得到气态产物和固态产物；气态产物与固体原料进行换热后，经过除尘处理，再经过多级冷凝、精制获得无水氟化氢产品，分离出来的四氟化硅气体一部分直接进入产品管线，另一部分则与精制尾气一同经过增压处理、预热后进入流态化转化工序。本发明为干法制备氟化氢技术，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113816340 A
(43)申请公布日 2021.12.21
(21)申请号 202111192402.2
(22)申请日 2021.10.13
(71)申请人 中国科学院过程工程研究所
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