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- 2023-07-06 发布于四川
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本发明提供一种薄膜晶体管及其制作方法、显示基板、显示装置，涉及显示技术领域，用于提升薄膜晶体管的特性。所述薄膜晶体管包括：设置于基底上的有源层，有源层形成为栅格状结构，包括多条沿第一方向延伸的硅纳米线，有源层包括沿第一方向相对设置的源极区和漏极区，以及位于源极区和漏极区之间的沟道区；设置于基底上的栅极，栅极沿第二方向延伸，第二方向与第一方向相交，栅极在基底上的正投影，与沟道区中的多条硅纳米线在基底上的正投影分别交叠；设置于基底上的源极和漏极，源极与源极区中的多条硅纳米线分别接触，漏极与漏极区中的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113823696 A
(43)申请公布日
2021.12.21
(21)申请号 20201
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