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压电装置和超声波换能器.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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压电装置和超声波换能器.pdf

    压电装置(100)包括基板(110)、压电元件(120)以及盖部(130)。压电元件(120)包含基部(121)和膜片部(122)。基部(121)位于第1主面(111)上，并且，在从第1主面(111)的法线方向观察时具有环状的外形。膜片部(122)在从法线方向观察时位于基部(121)的内侧。盖部(130)位于第1主面(111)上，在第1主面(111)侧与压电元件(120)分开且覆盖压电元件(120)。基板(110)在与膜片部(122)面对的位置形成有从第1主面(111)到达第2主面(112)的第

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113826408 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202080035943.1 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事

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