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一种激光解键合装置.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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一种激光解键合装置.pdf

    本发明提供了一种激光解键合装置，该激光解键合装置包括载物台，用于将待解键合件保持在其上，待解键合件包括第一层结构、以及通过键合层粘接的第二层结构。还包括吸盘和激光系统。吸盘吸附在第二层结构表面。激光系统用于产生依次透过吸盘及第二层结构后聚焦在键合层的激光束，并控制激光束的焦点在键合层扫描，以对键合层进行解键合。还包括与吸盘连接的拉伸机构，该拉伸机构用于在激光束扫描键合层的部分区域后，向上拉吸盘，以使第一层结构和第二层结构在和该部分区域重合的位置处分离。以采用边激光解键合，边拉吸盘进行分离的剥离方

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113838778 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111035726.5 B23K 26/06 (2014.01)

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