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光刻机电路板冷却装置.pdfVIP

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  • 2023-07-06 发布于四川
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光刻机电路板冷却装置.pdf

    本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种光刻机电路板冷却装置，包括至少两个冷却板，电路板贴合于所述冷却板，所述冷却板内设有冷却水路，至少两个所述冷却板的所述冷却水路相连通，其中一个所述冷却板上设有进水口，另一个所述冷却板上设有出水口，所述进水口及所述出水口均设有温度传感器，所述冷却水路均包括相连通的主水路和辅水路。本发明通过设置主水路和辅水路，主水路用于电路板的常规冷却，辅水路对应电路板中发热较多部位设置，增大发热部位与冷却水路的接触面积，提高冷却效率。同时，通过设置在进水口与出水口的温度传

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113835305 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111108262.6 (22)申请日 2021.09.22 (71)申请人 哈尔滨工业大学 地址

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