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曝光装置和制造物品的方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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曝光装置和制造物品的方法.pdf

    本发明公开了曝光装置和制造物品的方法。本发明提供了对基板进行曝光的曝光装置，包括：光学系统，所述光学系统被配置为在第一方向上发出用于对基板进行曝光的光；第一供给器，所述第一供给器被配置为将气体供给到布置有所述光学系统的腔室中；以及第二供给器，所述第二供给器被配置为向来自所述光学系统的光通过的光路空间供给气体，其中所述第二供给器包括气体吹送器和引导构件，所述气体吹送器包括吹送口，气体在第二方向上从所述吹送口吹出，所述引导构件被配置为将从所述吹送口吹出的气体引导到所述光路空间，并且所述引导构件包括板

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113867103 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202110730772.0 (22)申请日 2021.06.30 (30)优先权数据 2020-1131

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