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包含碱溶性树脂和光产酸剂的负型剥离抗蚀剂组合物以及在基板上制造金属膜图案的方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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包含碱溶性树脂和光产酸剂的负型剥离抗蚀剂组合物以及在基板上制造金属膜图案的方法.pdf

    本发明的目的是提供一种抗蚀剂组合物，其可以形成精细的抗蚀剂图案并保持它们。另一个目的是提供具有良好灵敏度和/或分辨率的抗蚀剂层。再一个目的是提供一种负型剥离抗蚀剂组合物，由该组合物制成的抗蚀剂图案的可去除性良好。[方案]本发明提供一种包含碱溶性树脂和光产酸剂的负型剥离抗蚀剂组合物。本发明提供一种在基板上制造金属膜图案的方法。本发明提供一种器件的制造方法，其包括金属膜图案的制造方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874785 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080037761.8 (74)专利代理机构 北京三幸商标专利事务所

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