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复合烧结体、静电卡盘部件、静电卡盘装置及复合烧结体的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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复合烧结体、静电卡盘部件、静电卡盘装置及复合烧结体的制造方法.pdf

    本发明的复合烧结体含有作为主相的金属氧化物、作为副相的碳化硅及金属氧化物中所含的金属元素的硅酸盐，放大倍率1000倍下的600μm2的视场内的硅酸盐的平均凝集直径为5μm以下。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113874336 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202080037179.1 (74)专利代理机构 上海立群专利代理事务所

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