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- 2023-07-07 发布于四川
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使控制部执行电流控制执行步骤,进行驱动电流的反馈控制,以使激光振荡器的激光的激光输出接近目标值,确定在电流控制执行步骤的执行中激光输出和目标值的差超过给定的阈值的输出变动发生的变动发生定时,根据在电流控制执行步骤的执行中测定出的多个第一物理量,确定根据在变动发生定时而确定的第一监视时间内成为异常值的异常物理量,根据成为异常物理量的变动的主要原因的多个第二物理量,将根据异常物理量成为异常值的异常开始定时而确定的第二监视时间内成为异常值的物理量确定为变动主要原因,将表示确定出的变动主要原因的信息输出
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113874151 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202080038281.3 (73)专利权人 松下知识产权经营株式会社
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