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用于化学机械研磨系统的蒸气处理站.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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用于化学机械研磨系统的蒸气处理站.pdf

    一种用于在化学机械研磨系统中对承载头或基板进行蒸气处理的设备，该设备包括装载罩、基座、锅炉、一个或多个喷嘴以及供应管线，该基座在由该装载罩所界定的腔中，该基座配置成从承载头接收基板或将该基板供应到该承载头，该锅炉用于产生蒸气，该一个或多个喷嘴定位成将蒸气向内引导到由该装载罩所界定的该腔中，该供应管线从该锅炉延伸到该一个或多个喷嘴，以将蒸气供应到该一个或多个喷嘴。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874164 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038936.7 P ·D ·巴特菲尔德　 (22)申请日 2020

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