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- 2023-07-07 发布于四川
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本发明提供一种基板处理方法，其提供一种能够抑制处理单元的污染的扩散的技术。基板处理方法具备：设定工序(S1)，基于用户的输入对基板处理装置所具备的多个处理单元的每一个设定容纳器中容纳的多个仿真基板中的能够使用的仿真基板，生成表示在多个所述处理单元中的每一个能够使用的仿真基板的设定信息；仿真基板特定工序(S3)，基于所述设定信息，从多个所述仿真基板中特定在多个所述处理单元中的第一处理单元中能够使用的第一仿真基板；以及仿真处理工序(S4)，所述基板处理装置具备的搬运部将所述第一仿真基板从所述容纳器搬
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113871321 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202110725317.1
(22)申请日 2021.06.29
(30)优先权数据
2020-1126
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