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用于MEMS快门的角压电致动器及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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用于MEMS快门的角压电致动器及其制造方法.pdf

    本公开的各实施例涉及用于MEMS快门的角压电致动器及其制造方法。一种MEMS致动器，包括主体，该主体具有中心部分和外围部分，中心部分能够耦合到衬底，外围部分当中心部分耦合到衬底时悬挂在衬底上方。外围部分具有围绕中心部分延伸并形成连续布置的膜的可变形结构。MEMS致动器包括承载结构和对应的压电致动器。承载结构在该承载结构的顶部处被固定到可变形结构并且横向地界定对应的空腔，每个空腔具有面向主体的中心部分并且在顶部处由膜封闭的横向开口。膜的固定部段固定到下面的承载结构，并且悬挂部段相对于下面的承载结构

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113860253 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202110726847.8 G02B 26/02 (2006.01) (22)申请日 2

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