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- 2023-07-07 发布于四川
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本发明涉及基板处理装置和基板处理方法。在包括进行周缘部处理的处理部和对基板的周缘部进行检查的检查部的基板处理装置中，抑制由基板输送引起的生产率的降低。本公开的基板处理装置包括处理部、交接部、对处理部输送装置、检查部以及对检查部输送装置。处理部对基板的周缘部进行处理。在交接部进行基板的交接。对处理部输送装置在交接部与处理部之间进行基板的送入送出。检查部检查基板的周缘部的处理状态。对检查部输送装置自检查部取出基板并将其向交接部送入。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113871329 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202110671758.8
(22)申请日 2021.06.17
(30)优先权数据
2020-1124
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