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- 2023-07-07 发布于四川
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本公开涉及一种芯片的检测系统及检测方法。所述检测系统包括：样品台，用于支撑所述芯片；X射线成像装置，配置为获得所述芯片的X射线图像；控制装置，配置为根据所述X射线图像确定所述芯片中目标区域的位置信息；和局部加工装置，配置为生成能量束，并将所述能量束聚焦于所述芯片上以局部加工所述芯片。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113871313 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202110874600.0
(22)申请日 2021.07.30
(71)申请人 卡尔蔡司（上海）管理有限公司
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