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- 2023-07-07 发布于四川
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本公开的各实施例涉及基于与缺陷相关联的计算机辅助设计(CAD)标识符来分割缺陷。针对缺陷集合中的每个缺陷,可以将缺陷与从计算机辅助设计(CAD)标识符的集合构造的缺陷属性相关联,CAD标识符与集成电路(IC)设计中的与缺陷的缺陷区域重叠的多边形相关联。接下来,可以基于相关联的缺陷属性将缺陷集合分割成缺陷组。缺陷组可以用于对缺陷集合执行附加处理。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113868997 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202110736631.X
(22)申请日 2021.06.30
(30)优先权数据
63/046,42
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