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- 2023-07-07 发布于四川
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提供振动元件的制造方法、振动元件以及振动器件，能够抑制驱动特性和可靠性降低。振动元件的制造方法包括：准备工序，准备振动元件，该振动元件具有基部、振动臂和施重膜，振动臂具备从基部延伸出来的臂部以及位于臂部的末端侧的施重部，施重部具有呈正反关系的第一主面和第二主面，所述施重膜配置于所述施重部的所述第一主面，所述第一主面具有第一平面、第二平面和倾斜面，该第二平面比所述第一平面靠所述第二主面侧，与所述第一平面平行，所述倾斜面将所述第一平面和所述第二平面连接起来，所述倾斜面与所述第一平面所成的角为100°
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113872546 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202110726431.6 G01C 19/5628 (2012.01)
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