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流量传感器芯片.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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流量传感器芯片.pdf

    提供一种能防止对加热器通电时无谓地耗电的流量传感器芯片。在流量传感器芯片的薄膜状部设有加热器，所述流量传感器芯片包括基板部和薄膜状部，所述基板部具有在第一面侧开口出的空腔，所述薄膜状部设于基板部的第一面上，所述加热器包括：加热器部；以及引线部，连接于加热器部的各端，由与加热器部的构成材料相比电导率高的材料构成。流量传感器芯片具备：第一引线部，连接于加热器部的一端；第二引线部，连接于加热器部的另一端；第一电极焊盘，直接连接于或经由连接部连接于第一引线部的不与加热器部连接的一侧端部，其中该连接部由具

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874733 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038556.3 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司

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