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- 2023-07-07 发布于四川
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本发明涉及光学薄膜制备技术领域，尤其涉及一种光学薄膜沉积在线膜厚监控系统及方法。该系统包括真空室、工件盘、夹具孔、光源、光谱采集仪、信号传输系统、上位机，工件盘置于真空室内，光谱采集仪置于真空室外部；夹具孔设置在工件盘上，工件盘旋转过程中，夹具孔所在圆环与光源和光谱采集仪构成的光路相交；夹具孔包括与工件盘的旋转轴等距设置的第一通孔和第二通孔；第一通孔或第二通孔上放置监控片；光谱采集仪和上位机通过信号传输系统通信连接。本发明利用光源、光谱采集仪、夹具孔等构成光路，对沉积在工件盘上的薄膜的透过率或反
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113862629 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202010620578.2
(22)申请日 2020.06.30
(71)申请人 刘书琴
地址 518
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