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- 2023-07-08 发布于四川
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本发明提供一种电气真空的主轴一体化清洗结构,包括壳体和基座,所述基座焊接于壳体的顶部,所述基座的表面设置有用于对主轴的表面进行清洗和冷却的喷洒组件。本发明在壳体的上方设置了能够进行周期性正反转动的喷洒组件,并且在固定座与固定环之间设置了用于带动清洗喷嘴正反转动的转动组件,通过喷洒组件和转动组件的设置,能够使固定环带动六组清洗喷嘴在主轴的表面不断正反转,使得六组清洗喷嘴能够分别从不同角度对主轴的表面喷洒冷却水和冷却液对其进行冷却和冲洗,提高了对主轴的喷洒面积。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116393439 A
(43)申请公布日 2023.07.07
(21)申请号 202310526177.4
(22)申请日 2023.05.11
(71)申请人 光微半导体(吉林
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