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本发明提供了一种金属膜片Ω形刻痕的皮秒激光刻蚀加工方法，主要解决了传统激光刻蚀路径设计方法无法实现不规则形状刻痕加工以及网格点集填充激光刻蚀路径导致加工效率较低的问题。本发明首先对Ω形刻痕图样进行规则图形的拆分和还原，其次采用点集制图软件生成Ω形刻痕点集群，并基于点集群进行Ω形刻痕路径的设计并进行初步绘制；再次使用皮秒激光加工工艺进行Ω形刻痕的加工；最后对出现的缺陷进行修正后完成金属膜片Ω形刻痕的皮秒激光刻蚀加工。本发明提供的设计方法可用于大尺寸、任意刻痕深度、任意材料的Ω形刻痕金属膜片的皮秒激
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113857684 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202111284260.2
(22)申请日 2021.11.01
(71)申请人 西安航天动力研究所
地
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