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一种用于晶圆键合的图像识别方法、装置以及系统.pdfVIP

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  • 2023-07-08 发布于四川
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一种用于晶圆键合的图像识别方法、装置以及系统.pdf

    本申请涉及一种用于晶圆键合的图像识别方法、装置以及系统。根据本申请一些实施例的方法包含：提供模板图像；检测模板图像中的边缘；对检测所得的边缘进行筛选，以获得模板图像中的模板区域的外边缘；以及测量模板区域在模板图像中的位置。与现有技术相比，本申请能够自动筛选出模板图像中的模板区域，同时还能为多个相机获得高度一致性的模板，提高了图像识别精度。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116402992 A (43)申请公布日 2023.07.07 (21)申请号 202111623199.X G06T 5/00 (2006.01) (22)申请日 2021.12.2

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