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一种用于晶圆键合的图像识别方法、装置以及系统.pdfVIP

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  • 2023-07-08 发布于四川
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一种用于晶圆键合的图像识别方法、装置以及系统.pdf

    本申请涉及一种用于晶圆键合的图像识别方法、装置以及系统。根据本申请一些实施例的方法包含：采集多张第一模板图像，其中多张第一模板图像中的每一者包括第一模板区域；基于多张第一模板图像制作均值图像；采集多张第二模板图像，其中多张第二模板图像中的每一者包括第二模板区域；基于多张第二模板图像制作和值图像；以及将均值图像和和值图像进行识别，以确定第二模板区域在和值图像中的位置。与现有技术相比，本申请提供的用于晶圆键合的图像识别方法、装置以及系统能够有效地克服相机信噪比对图像定位精度的影响，提高图像定位精度，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116403101 A (43)申请公布日 2023.07.07 (21)申请号 202111622519.X (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人 拓荆键科（海宁）

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