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本申请涉及一种污染检测方法、分光检测方法及分光检测系统，污染检测方法包括：采用检测光照射透明转盘的置料位，以使检测光穿过透明转盘；基于穿出透明转盘的检测光，确定测定参数；基于测定参数与原始参数，获取偏差参数；其中，原始参数对应于检测光自然照射状态下的光学参数，偏差参数能够反映透明转盘的污染程度；基于偏差参数与偏差阈值，输出清洁信号；其中，偏差阈值与透明转盘的污染程度相关联。本申请能够及时判断出当前透明转盘的置料位的污染情况是否需要清洁，以便对透明转盘上的污染进行更为及时的清洁，从而减少因透明转盘
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113866135 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202111121098.2
(22)申请日 2021.09.24
(71)申请人 深圳市华腾半导体设备有限公司
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