一种晶圆导片用的辅助系统.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.36万字
约 15页
2023-07-11 发布于四川
举报
版权申诉

一种晶圆导片用的辅助系统.pdf

1、本文档共15页，其中可免费阅读14页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型涉及一种晶圆导片用的辅助系统，其包括：校准装置，其包括校准座、定位单元、及校准单元；取放装置，其包括取放臂、取放夹头、及动力取放器。本实用新型通过绕着晶圆定位区中心分布的多根夹臂，晶圆的放置中心和转动中心重合，校准的准确度高；在晶圆定位时，夹臂以点或线接触的方式夹持在晶圆边缘，大大减小了晶圆的接触面积，避免晶圆表面接触磨损；通过分别连接有取放夹头的两组取放臂，实现依次连续取放晶圆，提高检测效率；通过第一支撑座和第二支撑座，将晶圆与臂本体隔开，减少晶圆与臂本体的接触面积，避免晶圆摩擦损坏

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214152857 U (45)授权公告日 2021.09.07 (21)申请号 202120341153.8 (22)申请日 2021.02.05 (73)专利权人苏州新尚思自动化设备有限公司