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生成装置模型的方法和执行其的计算装置.pdfVIP

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  • 2023-07-12 发布于四川
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生成装置模型的方法和执行其的计算装置.pdf

    提供了一种生成装置模型的方法和执行其的计算装置。通过测量半导体装置的特性来生成测量数据。在装置模型的多个参数当中选择目标参数，其中装置模型被配置为基于装置数据来执行仿真并且输出指示半导体装置的特性的仿真结果数据。选择与目标参数的初始值的不同组合对应的初始值集。基于强化学习来确定局部最小值。每个局部最小值对应于测量数据与针对每个初始值集的仿真结果数据之间的差的最小值。基于多个局部最小值来确定目标参数的最优值。通过使用基于强化学习的优化方案确定装置模型的参数来生成能够精确地预测半导体装置的特性的装置

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116415409 A (43)申请公布日 2023.07.11 (21)申请号 202211623732.7 G06N 3/126 (2023.01) (22)申请日 2022.12.

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