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本实用新型提供了一种MEMS麦克风芯片，所述MEMS麦克风芯片包括具有背腔的基底，设置于所述基底上的振膜，以及相对所述振膜远离所述基底一侧设置的背板；所述振膜包括位于中部的感应区域及环绕所述感应区域并与所述感应区域相间隙设置形成振膜狭缝的非感应区域，所述振膜狭缝沿所述振膜的振动方向的正投影位于所述基底上。本实用新型其振膜狭缝沿所述振膜的振动方向的正投影位于所述基底上，即所述振膜狭缝相较于所述背腔的更靠近芯片的外侧。当声压作用于振膜时，所述感应区域向靠近所述基底方向振动将振动到所述基底的上部，从而
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214177565 U
(45)授权公告日 2021.09.10
(21)申请号 202022666268.2
(22)申请日 2020.11.17
(73)专利权人 瑞声声学科技（深圳）有限公司
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